发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0479364(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900194193 申请日期 1990.07.23
申请人 SONY CORP 发明人 HOZUMI HIROKI
分类号 H01L27/082;H01L21/8228 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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