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发明名称 THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0479378(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900194390 申请日期 1990.07.23
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAKINUMA HIROAKI;MORI MIKIO;SAKAMOTO KATSUAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/336;H01L27/146;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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