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发明名称 THICK FILM LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号 KR920002125(B1) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 KR19870006424 申请日期 1987.06.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. 发明人 KABESIDA, AKIRA;MORI, KAZUHIRO
分类号 H01L27/01;B41J2/01;H05K3/10;H05K3/12;(IPC1-7):H05K3/12 主分类号 H01L27/01
代理机构 代理人
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