发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0479329(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900195306 申请日期 1990.07.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIRAISHI MASATOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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