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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0475345(A) 申请公布日期 1992.03.10
申请号 JP19900189824 申请日期 1990.07.18
申请人 NEC CORP 发明人 KODA TSUNEMITSU
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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