发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0475372(A) |
申请公布日期 |
1992.03.10 |
申请号 |
JP19900189981 |
申请日期 |
1990.07.18 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
YAMADA TORU |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|