发明名称 REMOVAL METHOD OF RESIST
摘要
申请公布号 JPH0475323(A) 申请公布日期 1992.03.10
申请号 JP19900188704 申请日期 1990.07.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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