发明名称 EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0473653(A) 申请公布日期 1992.03.09
申请号 JP19900186057 申请日期 1990.07.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NISHIUCHI KAORU
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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