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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0474564(A) 申请公布日期 1992.03.09
申请号 JP19900189176 申请日期 1990.07.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK 发明人 MORIOKA NORIMITSU
分类号 G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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