| 发明名称 |
METHOD FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0473943(A) |
申请公布日期 |
1992.03.09 |
| 申请号 |
JP19900186559 |
申请日期 |
1990.07.13 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
NAKANO SHINJI;WADA TETSUAKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N1/36;G01N21/88;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
