WIRING FORMATION PROCESS,申请号JP19900186341-传众专利搜索

发明名称	WIRING FORMATION PROCESS
摘要
申请公布号	JPH0472731(A)	申请公布日期	1992.03.06
申请号	JP19900186341	申请日期	1990.07.13
申请人	NEC CORP	发明人	UESUGI FUMIHIKO
分类号	C23C16/18;H01L21/3205	主分类号	C23C16/18
代理机构		代理人
主权项
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