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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH0472063(A)
申请公布日期
1992.03.06
申请号
JP19900184805
申请日期
1990.07.12
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
YAMAGISHI TOSHIHIKO;AOYAMA AKIRA
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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