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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0471150(A) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 JP19900181893 申请日期 1990.07.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD;HORON:KK 发明人 NOMURA NOBORU;NAKAGAWA HIDEO;FUKUTO KENJI;KOIZUMI TAICHI;ANAZAWA NORIMICHI
分类号 H01J37/141;H01J37/28 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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