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经营范围
发明名称
WASHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0471232(A)
申请公布日期
1992.03.05
申请号
JP19900183213
申请日期
1990.07.11
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
YAMANAKA EIICHIRO
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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