发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG OBERFLAECHENNAHER DEFEKTSCHICHTEN IN CZ-SILIZIUMSCHEIBEN
摘要
申请公布号 DD298713(A5) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 DD19890332539 申请日期 1989.09.12
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 KIRSCHT,FRITZ-GUENTER,DE;MACHOLD,HANS-JOACHIM,DE;FRICKE,PETER,DE;HUEBLER,PETER,DE;KUEHNE,HEINZ,DE;BABANSKAJA,IRINA,DE;REICHEL,JOHANNES,DE;WAITZ,ROLF,DE
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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