发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0469923(A) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 JP19900181467 申请日期 1990.07.11
申请人 SHIYOUDENRIYOKU KOUSOKU TSUUSHIN KENKIYUUSHIYO:KK 发明人 HIRANO KIICHI;TAKEDA NOBUO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址