发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01246830(A) 申请公布日期 1989.10.02
申请号 JP19880073318 申请日期 1988.03.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOMITA KENICHI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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