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发明名称 VERFAHREN ZUM BESEITIGEN VON UNERWUENSCHTEN KOHLENSTOFFABLAGERUNGEN IM INNEREN EINER CVD-REAKTIONSKAMMER.
摘要
申请公布号 DE3867867(D1) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 DE19883867867 申请日期 1988.02.24
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD., ATSUGI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI, SETAGAYA-KU TOKYO 157, JP
分类号 C23C16/26;B01J19/00;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C23G5/00;(IPC1-7):B08B7/00 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
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