| 摘要 |
<p>Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Erfassung der Strahllage von Laserstrahlen, beispielsweise zur Geradheitsmessung, mit einem Laser, dessen Laserstrahl auf einem positionsempfindlichen Sensor PSD auftrifft, dessen Ausgangssignal an eine Auswerteeinheit angelegt ist, die Lageabweichungen in bezug auf den Laserstrahl ermittelt. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß im Strahlengang des Laserstrahls ein Strahlteiler (RS1) angeordnet ist, der den Laserstrahl in den eigentlichen Meß-Laserstrahl (M) und einen Referenzstrahl (R) aufspaltet, daß im Strahlengang des Referenzstrahles ein Spiegelsystem (S1, S2), das den Referenzstrahl mehrfach faltet, und nach dem Spiegelsystem ein zweiter positionsempfindlicher Sensor (PSD) vorgesehen sind, auf den der Referenzstrahl auftrifft, und aus dessen Ausgangssignal die Auswerteeinheit Richtungsänderungen des Laserstrahls im Raum ermittelt, mit deren Kenntnis die Strahllage im Nutzzweig korrigiert wird.</p> |
