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发明名称 VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG DURCH ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE MIT PERFORIERTER DUESE.
摘要
申请公布号 DE3867870(D1) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 DE19883867870 申请日期 1988.03.17
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIENO, FUMITAKE C/O FUJITSU LIMITED PATENT, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/54 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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