发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0469930(A) 申请公布日期 1992.03.05
申请号 JP19900182102 申请日期 1990.07.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIURA MASAO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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