| 发明名称 |
MANUFACTURE OF ACTIVE MATRIX SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0469979(A) |
申请公布日期 |
1992.03.05 |
| 申请号 |
JP19900181429 |
申请日期 |
1990.07.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YORITOMI YOSHIFUMI;KOSHIMO TOSHIYUKI;TAKANO TAKAO;NAKATANI MITSUO;TANIGUCHI HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/3205;H01L27/12;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
