CLEANING METHOD AND CLEANING APPARATUS

摘要

L'invention concerne un procédé et un dispositif de nettoyage. Selon ce procédé, un objet devant être nettoyé est d'abord lavé ou rincé avec un agent de nettoyage ou de rinçage constitué principalement d'un solvant non aqueux et d'un solvant hydrophile, puis est séché après que l'agent de nettoyage ou de rinçage adhérant à la surface dudit objet a été enlevé par application d'un agent de nettoyage constitué principalement de carbone perfluoré ou de ses vapeurs. Selon une autre façon de procéder, l'objet, après avoir été lavé avec l'agent de nettoyage aqueux, ou dans de l'eau, est nettoyé et séché par application d'un agent de nettoyage constitué principalement de carbone perfluoré ou de ses vapeurs. L'agent de nettoyage constitué principalement de carbone perfluoré ou de ses vapeurs peut également être utilisé pour nettoyer et rincer un objet devant être nettoyé.