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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING PARTICLE FROM CLEANED BODY
摘要
申请公布号 JPH0468527(A) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 JP19900181889 申请日期 1990.07.10
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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