| 发明名称 |
SELF-TRAVELING TRUCK AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0469713(A) |
申请公布日期 |
1992.03.04 |
| 申请号 |
JP19900181449 |
申请日期 |
1990.07.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
DAIROKU NORIYUKI;HAMADA TOYOHIDE;AKAIWA MASAYASU;TAKAHASHI ISAO;TAKEHARA NAOKI;SUZUKI TAKAMICHI;IKEDA MINORU;KIKUCHI HIROSHI;ADACHI KAZUMI |
| 分类号 |
B23Q11/00;B25J5/00;B65G35/00;B65G47/52;G05D3/12;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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