发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02217475(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890034987 申请日期 1989.02.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KODAMA ATSUSHI;ARAKI MAKOTO
分类号 B01J19/08;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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