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发明名称 EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0422814(A3) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 EP19900310748 申请日期 1990.10.01
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 SAKAMOTO, EIJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;EBINUMA, RYUICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;AMEMIYA, MITSUAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;UZAWA, SHUNICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;UDA, KOJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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