发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0468564(A) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 JP19900182068 申请日期 1990.07.10
申请人 SONY CORP 发明人 SASAKI MASAYOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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