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发明名称 X-RAY IRRADIATION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0181193(B1) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 EP19850308028 申请日期 1985.11.05
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC 发明人 FORSYTH, JAMES MORTON
分类号 H01J35/00;H01J35/22;G03F7/20;H01J35/08;H01L21/027;H05G2/00;H05H1/22 主分类号 H01J35/00
代理机构 代理人
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