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发明名称 METHOD FOR PRODUCING FINE PATTERNS
摘要
申请公布号 EP0249941(B1) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 EP19870108637 申请日期 1987.06.16
申请人 TOYO SODA MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 HASEGAWA, MASAZUMI;TODOKO, MASAAKI;FUKUDA, MITSUTOSHI
分类号 G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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