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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0468531(A)
申请公布日期
1992.03.04
申请号
JP19900183763
申请日期
1990.07.09
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KOSHIHISA KAZUTOSHI
分类号
H01L21/3213;H01L21/308;H01L21/3205
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
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