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发明名称 PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0461442(A3) 申请公布日期 1992.03.04
申请号 EP19910108372 申请日期 1991.05.23
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 PLIES, ERICH, DR. RER. NAT.
分类号 G21K1/087;G01Q30/02;G01Q60/08;H01J37/12;H01J37/145;H01J37/28;H05H7/00;(IPC1-7):H01J37/28;H01J37/04 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
主权项
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