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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02307230(A) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 JP19890129179 申请日期 1989.05.22
申请人 NEC CORP 发明人 ITO HITOSHI
分类号 H01L21/306;H01L21/338;H01L29/41;H01L29/812 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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