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发明名称 DEVICE FOR HOLDING SAMPLE
摘要
申请公布号 JPH0466668(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 JP19900179987 申请日期 1990.07.06
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 YAMAMOTO NOBUHIKO
分类号 C23C16/44;C23C16/458;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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