发明名称 Laser ablation damascene process
摘要
申请公布号 US5093279(A) 申请公布日期 1992.03.03
申请号 US19910653209 申请日期 1991.02.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ANDRESHAK, JOSEPH C.;BASEMAN, ROBERT J.
分类号 B23K26/00;H01L21/3105;H01L21/3205;H01L21/768;H01S3/00;H05K3/02;H05K3/40 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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