| 发明名称 |
GROWING METHOD FOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0465387(A) |
申请公布日期 |
1992.03.02 |
| 申请号 |
JP19900174113 |
申请日期 |
1990.06.29 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
ISHIBASHI HIROYUKI;SHIMIZU ICHIJI;YOSHIDA MASATO;SUSA KENZO |
| 分类号 |
C30B17/00;C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06;C30B29/42;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B17/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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