发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0465391(A) 申请公布日期 1992.03.02
申请号 JP19900177078 申请日期 1990.07.03
申请人 SHARP CORP 发明人 KAWAMURA HIROSHI
分类号 C30B23/08;C30B29/40;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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