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经营范围
发明名称
SUBSTRATE CONVEYANCE ARM
摘要
申请公布号
JPH0465149(A)
申请公布日期
1992.03.02
申请号
JP19900178330
申请日期
1990.07.05
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
OSADA ATSUSHI
分类号
G02F1/13;B25J9/06;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
G02F1/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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