发明名称 CONTACT STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0465129(A) 申请公布日期 1992.03.02
申请号 JP19900178376 申请日期 1990.07.05
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAMURA HIROYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址