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发明名称 PROCESS GAS DISTRIBUTION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 CA2050247(A1) 申请公布日期 1992.03.01
申请号 CA19912050247 申请日期 1991.08.29
申请人 SCI SYSTEMS, INC. 发明人 SIERK, DENNIS A.;DUROSS, RONALD R.;GEIST, STEPHEN G.;HAYES, GREGORY L.
分类号 F17C13/02;F17C13/04;H01L21/00 主分类号 F17C13/02
代理机构 代理人
主权项
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