发明名称 CAPACITIVELY COUPLED RADIOFREQUENCY PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号 CA2049876(A1) 申请公布日期 1992.03.01
申请号 CA19912049876 申请日期 1991.08.26
申请人 KAUFMAN, HAROLD R.;ROBINSON, RAYMOND S. 发明人 KAUFMAN, HAROLD R.;ROBINSON, RAYMOND S.
分类号 H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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