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经营范围
发明名称
CAPACITIVELY COUPLED RADIOFREQUENCY PLASMA SOURCE
摘要
申请公布号
CA2049876(A1)
申请公布日期
1992.03.01
申请号
CA19912049876
申请日期
1991.08.26
申请人
KAUFMAN, HAROLD R.;ROBINSON, RAYMOND S.
发明人
KAUFMAN, HAROLD R.;ROBINSON, RAYMOND S.
分类号
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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