发明名称 DC REACTIVELY SPUTTERED OPTICAL COATINGS INCLUDING NIOBIUM OXIDE
摘要 2067765 9204185 PCTABS00011 A multilayer optical coating (10) including at least one layer of niobium oxide (16 and 20) deposited by DC reactive sputtering.
申请公布号 CA2067765(A1) 申请公布日期 1992.03.01
申请号 CA19912067765 申请日期 1991.07.31
申请人 VIRATEC THIN FILMS, INC. 发明人 DICKEY, ERIC R.;STEFFENHAGEN, DEBRA M.
分类号 B32B7/02;B32B9/00;C03C17/34;G02B1/11;G02B5/28;(IPC1-7):G02B1/10;G02B5/26 主分类号 B32B7/02
代理机构 代理人
主权项
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