发明名称 |
DC REACTIVELY SPUTTERED OPTICAL COATINGS INCLUDING NIOBIUM OXIDE |
摘要 |
2067765 9204185 PCTABS00011 A multilayer optical coating (10) including at least one layer of niobium oxide (16 and 20) deposited by DC reactive sputtering. |
申请公布号 |
CA2067765(A1) |
申请公布日期 |
1992.03.01 |
申请号 |
CA19912067765 |
申请日期 |
1991.07.31 |
申请人 |
VIRATEC THIN FILMS, INC. |
发明人 |
DICKEY, ERIC R.;STEFFENHAGEN, DEBRA M. |
分类号 |
B32B7/02;B32B9/00;C03C17/34;G02B1/11;G02B5/28;(IPC1-7):G02B1/10;G02B5/26 |
主分类号 |
B32B7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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