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发明名称 PROCESS FOR FABRICATING A DEVICE
摘要
申请公布号 CA2049795(A1) 申请公布日期 1992.03.01
申请号 CA19912049795 申请日期 1991.08.23
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 CHANDROSS, EDWIN A.;NALAMASU, OMKARAM;REICHMANIS, ELSA;TAYLOR, GARY N.;THOMPSON, LARRY F.
分类号 C08L33/00;C08L33/04;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/039;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C08L33/00
代理机构 代理人
主权项
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