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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0463451(A)
申请公布日期
1992.02.28
申请号
JP19900175879
申请日期
1990.07.03
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
HAYASHI HIROAKI
分类号
H01L21/60;H01L23/28
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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