| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0463284(A) |
申请公布日期 |
1992.02.28 |
| 申请号 |
JP19900172730 |
申请日期 |
1990.07.02 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TAKAGI SATOSHI;ECHIZEN YUTAKA |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;B01J19/12;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
