发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0429357(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900136437 申请日期 1990.05.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIROSUE MASAHIRO
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址