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经营范围
发明名称
LSI LAYOUT PATTERN DATA CHECKING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0463460(A)
申请公布日期
1992.02.28
申请号
JP19900178008
申请日期
1990.07.03
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KANAZAWA KAZUHIRO
分类号
H01L21/82;G06F17/50;H01L21/66
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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