| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0463280(A) |
申请公布日期 |
1992.02.28 |
| 申请号 |
JP19900173457 |
申请日期 |
1990.06.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KITAGAWA MASATOSHI;SHIBUYA MUNEHIRO;HAYASHI SHIGENORI;KAMATA TAKESHI;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/448;C23C16/50;C23C16/503;C23C16/513;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
