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发明名称 FORMING METHOD OF CONTACT HOLE
摘要
申请公布号 JPH0464232(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900177070 申请日期 1990.07.04
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAGI MITSUHARU
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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