发明名称 ASSEMBLY PROCESS CONTROL SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0463440(A) 申请公布日期 1992.02.28
申请号 JP19900175947 申请日期 1990.07.03
申请人 TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK 发明人 KAGINO MINORU;MURAKAMI KOJI;MOROTA MASAAKI
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/66 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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